如何判斷常規(guī)真空系統(tǒng)材料選擇

簡單說，真空系統(tǒng)中的真空室以及管路所用的材料都可以稱之為殼體材料，而各種靜密封、動密封材料可以統(tǒng)稱為密封材料。而無論是殼體材料還是密封材料，選擇的依據(jù)主要是真空裝置的真空度以及被抽介質(zhì)的腐蝕性。

一般常見情況下，超高真空裝置中，殼體材料必須用不銹鋼，而密封材料則選擇金屬密封。

高真空裝置，殼體材料可以是不銹鋼材料或者是碳鋼材料，主要考慮生產(chǎn)工藝過程的氣體是否有腐蝕性，根據(jù)實際情況選用不銹鋼或者碳鋼鍍鎳以及其他涂層工藝，而密封材料一般是常見的橡膠密封。

而低真空裝置選擇材料主要考慮的就是被抽氣體是否有腐蝕性的問題。

另外，真空管路的粗抽管道及前級管道一般選擇無縫鋼管管，而高真空管道材料與真空室殼體的材料保持一致。

這些就是真空系統(tǒng)材料選擇中最為粗略的判斷，至于其他的像玻璃、銅及各式各樣的合金材料等，更多的是在具體的細(xì)節(jié)配置上使用，還有一些有具體要求的特殊真空工藝環(huán)境中，那就需要進(jìn)一步因地制宜，綜合考慮了。